metal etch

网络释义

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2.	金属蚀刻金属蚀刻(metal etch)及氧化蚀刻(oxide etch)已逐渐趋向於乾式技术，主要是利用电浆(plasma)冲击卤素气体(如perfluoro compo… tt.acesuppliers.com
3.	金属层蚀刻 ...Etch)－CF4、C2F6、C4F8、CHF3 金属层蚀刻(Metal Etch)－CF4、SF6、CHF3 氮化钛蚀刻(TiN Etch)－SF6、CHF3 钨蚀 … www.slideshare.net