?金刚石膜
金刚石微型电子机械开关和微加速器的加工及其应用研究 - 工程材料-科研基金网 关键词：金刚石膜；微型金刚石机电系统；传感器 [gap=727]Keywords：Diamond Films;Microelectromechanical System;Sensor
?钻石膜
分解的甲烷可以化学气相法 (CVD) 沈积出 钻石膜 ( Diamond Film ) ，或以物理气相法 (PVD) 披覆在材料的 表面形成类钻碳 (Diamond Like Carbon或DLC) 的保护 膜。 .
?钻石薄膜
? 钻石薄膜(diamond film): 这是很有潜力的材料。很多实验室都在研究如 何可以很容易合成好的钻石薄膜。
非晶金刚石薄膜
cvd金刚石薄膜 ; CVD金刚石膜
金刚石自支撑膜
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