?激光束蒸发

...埚材料的污染  可控制性较差  在放电过程中易产生电极颗粒的飞溅，影响 薄膜 的均匀性 激光束蒸发（Laser beam evaporation） 使用高功率的激光束作为能源进行薄膜 沉积的方法称为激光蒸发沉积法。