fipos

网络释义

1.	氧化多孔性硅全隔离 ...；⑸硅片直接键合与背面腐蚀（SDB＆BE）技术；⑹氧化多孔性硅全隔离（FIPOS）技术。 docin.com
2.	隔离技术 ... 法把薄硅层从体硅中隔离出来 , 如多孔氧化硅全隔离技术 ( FIPOS) 和注氧隔离技术 ( SIMOX) ; 另外 www.03964.com
3.	多孔硅氧化隔离法 ...形成SiO2埋层（SIMOX）单晶衬底的隔离多孔硅氧化隔离法（FIPOS）硅片键合背面腐蚀法（BESOI）、智能剥离技术（S… wenku.baidu.com

4.	氧化多孔硅全隔离过去制备SOI材料常用的方法有离子注入氧隔离（SIMOX）、氧化多孔硅全隔离（FIPOS）、区域再结晶（ZMR）和横向外延 … www.mems.ac.cn

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