drie

网络释义

1.	深反应离子刻蚀(deep reactive ion etching) 针对深反应离子刻蚀(DRIE)工艺加工高深宽比梳齿电容存在侧壁倾斜角的情况,分析了该倾斜角对梳齿谐振器频率的影响。为了 … wiki.cnki.com.cn
2.	反应离子刻蚀技术借助深度反应离子刻蚀技术(DRIE)的工艺，碳晶部件达到了千分之一毫米(即1微米)的超高精度，并且具有极其光滑的表面。这 … watch.chinese-luxury.com
3.	深反应离子刻蚀技术随着深反应离子刻蚀技术（DRIE）的出现，体硅微机械加工技术的加工精度显著提高，在硅衬底上用多晶硅制作不仅适宜批 … www.docin.com

4.	深反应离子蚀刻建构於深反应离子蚀刻(DRIE)制程上的制程选项使得有可能在主要标准IC制程完成后来制作MEMS结构。当再结合拥有氧化物 … www.eettaiwan.com
5.	Deep Reactive Ion Etch ...用体硅微机械进行大批量生产的潜力，比起文献中运用 DRIE(deep reactive ion etch)方法制备的器件，可以降低成本。这一 … www.docin.com

更多释义

收起释义