sidewall angle

电器电子专业英语词汇 ... sidewall 侧壁 sidewall angle 侧壁腐蚀角 sidewall masking 侧壁掩蔽 ...

...nm微影将采用薄层（小於50nm），考虑到光阻剂的侧壁角度（sidewall angle），EUV吸收预计不会是大问题。

然后，利用栅极侧墙倾斜角（sidewall angle）和栅极与硅基板之间的接触角（contact angle），对这些栅极截面形状做出定量 …