radio frequency glow discharge

网络释义

1.	射频辉光放电 ... radio frequency discharge 高频放电 radio frequency glow discharge 射频辉光放电 radio frequency heating 射频加热 ... www.chuandong.com
2.	射频辉光放电法在多晶硅薄膜的沉积过程中，通过射频辉光放电法(Radio Frequency Glow Discharge)分解硅烷，在射频功率的作用下，硅烷气 … news.chinaups.com

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