mtorr

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1.	真空度 ... 100 N 2 气百分比（%） 100 0 0 真空度（mTorr） 110 110 110 射频功率（Kw） 1.5 2.5 2.5 处理时间（min） 10 35 5 表（… www.docin.com
2.	系统压力 ...85~90 100 CF4% 0 10~15 0 系统压力（mTorr） 250 250 250 功率（KW） 3.5 3.5 3.5 温度（℃） ~40 40~110 40~110时间… www.zhmcb.com
3.	极限真空极限真空(mTorr) >> 泄漏率(mTorr/h) >> 晶体行程(mm) >> 晶体慢速(mm/min) >> 晶体快速(mm/min) >> 晶体旋转(rpm) >> 坩 … www.gaogong123.com

4.	毫托最常见的电浆是在真空容器内通入数十至数百毫托 (mTorr) 的气体，加上高电压产生的放电，例如：霓红灯及日光灯管内气 … www.docin.com

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