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单词 drie
释义
drie
  • 简明释义
  • v.<旧>忍受,遭受
  • 网络释义
  • 1

    ?深反应离子刻蚀

    深反应离子刻蚀(DRIE)是一个很好的例子,DRIE通过精密刻蚀硅材料,严格控制深度、宽高比及侧壁轮廓来实现3D结构。

  • 2

    ?深反应离子蚀刻

    可以采用光刻术和蚀刻技术形成下部的多种部件(例如流体储存器、射流通道和泵)。例如,采用模具作为深反应离子蚀刻(DRIE)的蚀刻掩模以形成所述部件。还可以采用标准模制或加工技术形成下部。

  • 3

    ?深层离子蚀刻技术(Deep Reactive Ion Etching)

    ... a light beam is deflected from one optical fiber into another perpen- dicular optical fiber deep reactive ion etching (DRIE): an etching process that allows for very high-aspect-ratio etching of silicon 1 electromagnetic actuation: the movement...

短语
  • 双语例句
  • 1
    Emerging 3d interconnection technologies and high volume MEMS applications require cost effective mass production DRIE systems.
    新兴的3d互联技术以及高产量的MEMS应用需要成本低廉以及高产量的深层反应离子刻蚀系统。
  • 2
    This accelerometer is fabricated by N type silicon wafer. To obtain high aspect ratio structure, deep reactive ion etching(DRIE) process is employed.
    加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。
  • 3
    By optimizing DRIE parameters and RIE etching the trenches' opening, the ideal trench profile is obtained to ensure that the trenches are fully refilled without voids.
    采用经过参数优化的DRIE刻蚀深硅槽,并用反应离子刻蚀(RIE)对深槽开口形状进行修正,制造了具有理想侧壁形状的深槽,利于介质的完全填充,避免产生空洞。
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更新时间:2025/8/25 19:40:00