?电容式加速度计
关键词:微机电系统;横向敏感;刚度调节;高K介质;电容式加速度计 [gap=969]Keywords:MEMS;lateral sensing;stiffness tuning;high K dielectric;capacitive accelerometer
电容式微加速度计
MEMS电容式加速度计
发明名称
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