[真空]?溅射离子泵

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?离子溅射泵

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?离子泵

离子泵：是另一种捕集型泵，又称溅射离子泵（sputter ion pump）或收集泵（getter pump）； 涡轮分子泵：类似喷气式飞机涡轮引擎，涡轮泵的附带泵是拖拽式（drag type）泵。