[电子]?溅射
这种镀膜技术又称离[电子]溅射镀膜或淀积。 sputtering Theory (principle)溅射原理(溅射镀膜的溅射过程):离子能量很低时,被反弹回来;能量小于10eV的离子被吸附在靶表面,以声子(...
?溅射法
溅射法(Sputtering)是制备各种氧化物广泛采用的一种技术,包括直流溅射、射频溅射等,最近开发了磁控溅射和离子束溅射等。
?飞溅
... sputterionpump溅射离子泵 sputtering飞溅 squarewellpotential矩形势阱 ...
阴极溅射法 ; 阴极爆蚀 ; 阴极溅散
磁控溅射法 ; 磁控溅射镀
电子 阳极溅射
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