您要找的是不是：
百叶窗
插坝；活板坝，翻板坝
快门磁盘
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?维护前烘烤挡片
...腔维护后反应腔残余气感受导致钨刻蚀终点检 硕士论文测曲线异常,增加维护后靶预热性溅射(Burn in)和维护前烘烤挡片(Shutter Disk)能减少残余气体对钨刻蚀终点检测影响;(b)高温厚铝溅射真空腔体微漏导致铝刻蚀后产生火山状缺陷或晶须缺陷;(c)高温厚铝溅射残余气...
?快门片
... shutter dam ==> 活板坝,翻板坝 shutter disk ==> 快门片 shutter door ==> 百叶门 ...
四叶快门
转盘开关
盘式快门 ; 快门片
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