?排空
... Pulse generator 脉冲发生器 Pulse signal 脉冲信号 Pump down 排空 ...
?抽真空
四、抽真空(PUMP DOWN) 高真空(进入自动) 1.下降炉体不到位(感应器感应不到)以致无法投入自动作业程序。
抽气时间 ; 抽空时间
最后抽气
泵送工具
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