?微光机电系统

将微机电系统（MEMS）与光器件融合于一体的微光机电系统（MOEMS）是MEMS的一个重要的研究方向，它采用微细加工的技术手段，把微光学器件、微电子器件和微机械结构或装置集成在相兼容的基体材料上...

?微光电子机械系统

公司描述：主要基于微光电子机械系统（MOEMS）的动态可调光衰减器(DVOA)是实现光通信全光网中任何部分信号功率调节的重要元件..

?微光机电

...计、温度传感器、半导体发光元器件、水文传感器、射频MEMS的开关、谐振器与滤波器以及生物传感器等微机电(MEMS)、微光机电(MOEMS)新型传感器件为主的产品技术；积极开展系统应用(汽车、医用、电力与电源管理等)的技术研究。

?微型光机电系统

一个微型光机电系统（MOEMS）角锥棱镜反射器（CCR）被广泛用在激光敌我识别系统（激光识别朋友或敌人）作为光开关。