| 释义 |
lithography 英/ l??θ?ɡr?fi / 美/ l??θɑ?ɡr?fi / - 1
电子、通信与自动控制技术 光刻 Therefore, the technology of EUVL is becoming a hot point in international lithography field. 因而,该技术也是目前国际上先进光刻领域研究的热点。
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物理学 光刻 Patterned a-D film column emitter array was fabricated by oxygen reactive ion beam etching （R1BE）. In this process, lithography was requires. 通过离子束技术和微加工工艺的有机结合，通过对非晶金刚石薄膜的光刻、氧反应离子束刻蚀等一系列步骤，实现了非晶金刚石琢膜的图形化。
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