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KEYWORDS: GIMS, ion source, anode layer, sputtering, TiN, ion plating, medium frequency, pulsed DC.
中文关键词: 气离溅射 、 离子源 、 阳极层流 、 溅射 、 氮化钛 、 离子镀膜 、 中频 、 脉冲直流.
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