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High quality GaN film was grown by hydride vapor phase epitaxy ( HVPE ) using porous AAO as mask.
采用均匀的多孔阳极氧化铝做掩膜在氢化物气相外延设备中生长出高质量的氮化镓膜.
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汽相外延???又称 :汽相外延(VPE)???
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