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大小写变形:SOCS
An optical model with Hopkins and an approximate algorithm, so - called SOCS algorithm, are presented as well.
针对光刻模型的光学成像系统, 本文介绍了基本的基于Hopkins公式 的曝光系统模型以及Hopkins的近似算法, 即所谓的基于特征函数的SOCS算法.
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