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Deposition of High Quality GaN Film Under High ECR Plasma Density?
在高ECR等离子体密度下沉积高质量氮化镓薄膜(英文)
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We have calculated plasma density distribution, temperature distribution, impurity radiation power loss in SOL with friction.
利用粒子数守恒和“两点模型”,计算了在有摩擦的情况下,删削层中等离子体的密度分布 、 度分布和杂质辐射的功率损失.
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