Nanoimprint is a high resolution, high throughput , low cost lithographic method.
纳米压印技术是一种高分辨率 、 廉价 、 高效的纳米结构制备技术.
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W . B . Young , " Analysis of the nanoimprint lithography with a viscous model ", Microelectronic Engineering, Vol.77 , pp .405 - 411 ( 2005 ).
钟明宏, “ 准分子雷射作用下矽基板之熔融现象之理论与实验探讨 ”, 国立成功大学机械工程学系, 硕士论文, ( 2006 ).
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