full wafer

第 二种方式则是利用 CIC 所提供的全晶片式(Full wafer)量测环境，采取直接下针式 (on-wafer)量测方法。目前，CIC 的微机电 …

...当透过适当的磊晶成长及退火处理, 得到品质较 好的整片单晶 (Full Wafer), 而其底部已有一层平整的氧化层, 即得 到 SOI 结构。