Dryox

网络释义

1.	干氧化 ...刻蚀 (dry etch) : 见等离子体刻蚀. 干氧化(dry ox) : 使用氧气和氢气生长二氧化硅的方法. 在工艺温度下形成水蒸汽, 而不是直接... www.docin.com

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