etch profile

电器电子词汇英语翻译(A-G) ... etch polishing 腐蚀抛光 etch profile 腐蚀断面图 etch rate 腐蚀速率 ...

CD偏差要求的线条;刻蚀剖面(Etch Profile)接近900；大面积片子上要保持均匀他密集线 条与孤立线条要求刻蚀速率的一致,即要 …

...则为横向性蚀刻率很慢或为 0, 因此,可较完美调控蚀刻截面轮廓(Etch Profile)和线宽(CD Control)。