etching mask

将微影技术所形成之光阻剂图样作为蚀刻光罩 (etching mask) 将材料进入蚀刻液中，只溶去不要部分之技术，容易进行 设备便 …

蚀刻模型,photoetc... ... ) etching rate modeling 刻蚀速率模型 ) etching mask 刻蚀掩模 ) mask-based lithography 有掩模刻蚀 ...

蚀刻遮罩层（Etching Mask）　81 蚀刻剂（Etchant）　68 裸晶片（Bare Chip）　69 银（Silver）　242 铜（Copper）　52 铜凸块（…

² 文件包含的蚀刻掩模(etching mask)的数据将在文件名中有附加的掩模（层layer）数.Mask 1表示最深的蚀刻步.

显影，系将曝 光区域之光阻洗去或留存，剩下之光阻图形在烤乾后，即可 作为下一道蚀刻之遮幕或掩膜(etching mask)使用。 …