cval

网络释义

1.	轴电子透镜 ...像；在片子上形成250μm2图形，电子束经曲线可变轴电子透镜（CVAL）在掩模平面上可偏移±10mm，在片子上则为±2.5mm… www.ic37.com
2.	控制值 KEYOPT 用来定义控制值(CVAL)。KEYOPT(3) 用来选择控制节点的自由度。 www.docin.com

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