concave bow

翘边缺陷,warping... ... ) undercut defects 咬边缺陷 ) concave bow 凹进翘曲[平板玻璃缺陷] ) warping flaw 翘边缺陷 ...

...)材料将使原本凸形翘曲(convex bow)变成凹形翘曲(concave bow)，这时在10μm晶面曲率下的晶圆温度差异将会降到1.2℃。