contact etch

网络释义

1.	接触孔蚀刻 ...Etch)、间隙壁蚀刻(Spacer Etch)和接触孔蚀刻(Contact Etch)有关,这3步工艺效果的叠加,使源、漏极的硅消耗得较多,从而造 … cdmd.cnki.com.cn
2.	接触窗蚀刻 ...Etch)制程验收规格 11 表格三、 90nm 接触窗蚀刻(Contact Etch)制程验收规格 12 说明： www.narl.org.tw

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