defectivity

网络释义

1.	缺陷率 ...为减低层间电介质(ILD)和铜(Cu) 制程的缺陷率 (Defectivity)以及减低碟形缺陷(Dishing)而研发。 ic.semi.org.cn
2.	缺点微粒的减少，相对的缺点(Defectivity)就减少。就5层金属层装置(metal layer device)而言，晶片的产能估计会因而增加1.5%。 ssttpro.acesuppliers.com

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