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zmr
释义
zmr
网络
区熔再结晶(zone melting recrystallization)；区熔再结晶技术；区熔再结晶法
网络释义
1.
区熔再结晶(zone melting recrystallization)
研究了
区熔再结晶
(
ZMR
)设备及其工艺特点.在覆盖SiO2的重掺P型单晶硅衬底上用快速热化学气相沉积(RTCVD)在其上沉积一 …
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2.
区熔再结晶技术
区熔再结晶技术
（
ZMR
） ZMR 的工艺过程为： （1）在单晶硅上生长SiO2、Si3N4 等绝缘层（介质）； （2）采用低压化学汽 …
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3.
区熔再结晶法
到目前为止,再结晶技术主要有:固相晶 化法 ( SPC) 、
区熔再结晶法
(
ZMR
) 和金属诱导结晶法 (MIC) 。 4. 2. 1 固相晶化法 ( SP…
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4.
区熔在结晶
...,晶粒尺寸为0.01um ~0.1um,将该层进行
区熔在结晶
(
ZMR
)形成多晶硅 层。
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释义:
区熔再结晶技术,区熔再结晶法
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更新时间：2025/10/2 11:03:25