wafer, silicon

...程可以生产足够相容性(consistency)的圆硅片(wafer silicon)，使得一批产品的电阻率(resistivity)的标准差不超过10 ohm.cm。

晶圆矽利康(Wafer Silicon) 8寸设备晶圆热附著物 - GC - Mass 厚度(mm)面风速(m/s)初期压损(Pa)效率(0.3um)52 0.5 120 99.99%