thermal nitridation

网络释义

1.	先热氮化先热氮化(thermal nitridation)基板，再成长闸极氧化层主要在氧化层表面含N，可延迟B扩散进入氧化层。 www.ndl.narl.org.tw
2.	热氮化 VLSI概论... ... thermal expansion coefficient 热膨胀系数 thermal nitridation 热氮化 142 thermal pyrolysis 热裂解 226 ... zh.scribd.com

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