vertical reactor

网络释义

1.	垂直式反应炉主要是因为此技术并不适用於多片式行星式(multi-wafer planetary)炉及垂直式反应炉(vertical reactor)。再加上即时(in situ)STM … csot.acesuppliers.com
2.	垂直式生长腔此系统中，主要可分为垂直式生长腔（Vertical Reactor）、气体传送系统（Gas Delivery System）、排气系统（Exhaust Syste… gipo.ntu.edu.tw

释义:

垂直式反应炉,垂直式生长腔

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