spacer etch

网络释义

1.	间隔蚀刻 Nanomos Technology - Excel ... space-division switching 空分交换 spacer etch 间隔蚀刻 spacer implants 植入间隔 ... www.docstoc.com
2.	间隙壁蚀刻 ...和多晶硅栅极蚀刻(Gate Poly Etch)、间隙壁蚀刻(Spacer Etch)和接触孔蚀刻(Contact Etch)有关,这3步工艺效果的叠加,使源、 … cdmd.cnki.com.cn

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