| 释义 |
1. | 注氧隔离 以注氧隔离（SIMOX）技术制备高阻SOI材料硅中注H 引起的缺陷和应力以及剥离的机制以AlN为绝缘埋层的新结构SOAN材料 … book.jd.com | 2. | 注氧隔离技术 ..., 如多孔氧化硅全 隔离技术 ( FIPOS) 和注氧隔离技术 ( SIMOX) ; 另外 www.03964.com | 3. | 注氧隔离法 注氧隔离法 (SIMOX)和体硅智能剥离法 (smart cut)是目前制备绝缘体上的硅 (SOI)材料的最重要的两种方法。而离子注入是其中 … dict.cnki.net |
4. | 注氧隔离硅 其中发展较快的有注氧隔离硅（SIMOX）、背面刻蚀与键合的SOl（BESOI）和SMART－CUT等3类材料。BESOI材料中的缺 … www.dz3w.com | 5. | 氧注入隔离 这种氧注入隔离（SIMOX）是一种绝缘层上硅（SOI）的关键 技术。 现代半导体器件物理与工艺 桂林电子科技大学 杂质掺杂 70 www.docin.com | 6. | 氧离子注入 1. SOI CMOS SOI 衬底由氧离子注入（SIMOX）和键合技术， 材料技术与现有CMOS兼容性的进步，使之特别适合 于VLSI的 … www.docin.com | 7. | 注入氧分隔 另据报道：中国科学院半导体研究所在注入氧分隔（SIMOX）的晶片上，研制了正面进光和背面进光的两种SiGe/Si谐振腔增强 … www.dzsc.com | 8. | 注氧隔离工艺 埋层介质膜的形成(page 116) 如：注氧隔离工艺（SIMOX） （Separation by Implanted Oxygen) 4。吸杂工艺 如：等离子体注 … www.03964.com |
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