silicon on insulator (soi)

网络释义

1.	绝缘体上硅波导基于绝缘体上硅波导（Silicon-On-Insulator SOI）的微纳米环形谐振腔，由于其尺度为微纳米范围，具有超高的集成度并且其 … wenku.baidu.com

释义:

绝缘体上硅波导

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