sputtering etching

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2.	溅击蚀刻乾蚀刻以下介绍几种乾蚀刻机制：一.溅击蚀刻(Sputtering Etching) ：利用电浆里所产生的离子，用偏压加速轰击晶片表面薄 … www.docin.com

释义:

溅射刻蚀,溅击蚀刻

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