step-and-scan

网络释义

1.	步进与扫描我们也期望在因为步进与扫描(step-and-scan)的问题而造成制程窗散光(astigmatic)时，仍能够个别地监测水平与垂直的特性。 … ssttpro.acesuppliers.com
2.	扫描机机台有步进－重复机(Step-and-Repeat)，或简称步进机(Stepper)与步进－扫描机(Step-and-Scan)，或简称扫描机(Scanner)二 … www.2ic.cn
3.	步进扫瞄式步进扫瞄式(step-and-scan)设备和步进重复式(step-and-repeat)设备相比，提供较好的CD控制和较小的透镜位置误差。此外， … ssttpro.acesuppliers.com

4.	步进扫瞄 ...0.63，光源波长为248nm、缩小比率为4:1的步进扫瞄(step-and-scan)设备，进行180nm制程技术的量产；其聚焦景深(DOF) … ssttpro.acesuppliers.com

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