slit coating

(c)狭缝涂布(slit coating)及mura表现　表二为光阻A与F34在slit coating及mura表现的比较表。

表一是关於狭缝式涂布(Slit Coating)与喷墨涂布(Inkjet printing)两个涂布方式的比较表，首先在喷嘴方面，喷墨涂布法容易架设 …

... Coating)，乃至於大面积 五世代和六世代的细缝成膜方式 (Slit Coating) 和喷墨列印方式 (Ink Injection)等。