RF power supply

网络释义

1.	射频电源在射频电源(图中RF Power supply)的作用下气体放电产生等离子体④。这样在负偏压的基片上沉积出薄膜。 www.cndac.net
2.	上一高频电源其工作原理，如图 2-4 [42]所示。於铜线圈上加上一高频电源（RF power supply），当线圈上之电流随时间作变化时，由式 5 … tw.myblog.yahoo.com

释义:

射频电源,上一高频电源

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