rf ion source

网络释义

1.	射频离子源射频离子源（RF ion source）PFG300/600 极限真空（Ultimate Pressure） 5×10 -7 mbar 均匀性（Uniformity） ±3% www.fdurop.fudan.edu.cn
2.	高频离子源 wenku.baidu.com

释义:

射频离子源,高频离子源

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