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单词 RELACS
释义

RELACS

  • 网络光刻技术
1.
光刻技术
... nm 接触孔 。此方法称为化学缩小辅助分辨率提高光刻技术 ( RELACS) 。它能使当前 的曝光设备制做下一代器件要求的接触 …
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更新时间:2025/1/13 5:16:00