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reactive ion etching

释义

reactive ion etching

网络反应离子刻蚀；反应性离子蚀刻；反应离子蚀刻

网络释义

1.	反应离子刻蚀　　④最后对硅基板进行反应离子刻蚀（Reactive Ion Etching）去除残留的光刻胶，即可以复制出与模版等比例的纳米图案。　　2.2 … www.chinairn.com
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7.	反应离子刻蚀设备 ...层图形形成采用 BPS Nextral 660L 反应离子刻蚀设备（Reactive Ion Etching）完成，刻蚀反应气体为 CHCl3/Ar，采用 2.45G… wenku.baidu.com
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反应离子刻蚀,反应性离子蚀刻,反应离子蚀刻

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更新时间：2025/8/13 0:28:12