reactive ion beam etching

反应离子束蚀刻,reactive ion beam... ... ) reactive ion beam etching 反应离子束刻蚀 ) reactive ion etching 反应离子刻蚀 ...

而活性离子束蚀刻(reactive ion beam etching)正符合上述要求，其以离子源之物理性作用，进而控制其化学性蚀刻，具有解析 …