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单词 remote plasma nitridation
释义

remote plasma nitridation

  • 网络以远端电浆氮化法;远距电浆氮化法
1.
以远端电浆氮化法
  再则,我们对以远端电浆氮化法(remote plasma nitridation)处理的超薄氮化氧化矽薄膜的物、电特性详加研究。吾人发现,当基 …
etds.lib.ncku.edu.tw
2.
远距电浆氮化法
  此外,吾人以利用远距电浆氮化法Remote Plasma Nitridation)处理的超薄氮化氧化矽薄膜作为CMOS元件之闸极介电层,并 …
etds.lib.ncku.edu.tw

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更新时间:2025/1/13 4:52:01