remote plasma nitridation

网络释义

1.	以远端电浆氮化法　　再则，我们对以远端电浆氮化法(remote plasma nitridation)处理的超薄氮化氧化矽薄膜的物、电特性详加研究。吾人发现，当基 … etds.lib.ncku.edu.tw
2.	远距电浆氮化法　　此外，吾人以利用远距电浆氮化法（Remote Plasma Nitridation）处理的超薄氮化氧化矽薄膜作为CMOS元件之闸极介电层，并 … etds.lib.ncku.edu.tw