pattern etching

网络释义

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2.	图形蚀刻尤其在利用193奈米浸润式微影技术时，对图形蚀刻(Pattern Etching)的深宽比(Aspect Ratio)要求更为严苛，已非传统非晶矽碳 … www.mem.com.tw

释义:

蚀刻,图形蚀刻

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