prealigner

电器电子专业英语词汇 ... preaging 预老化 prealigner 预对准器 prealignment 预对准 ...

当机械手 臂获得基板后，先置入预对准装置 (prealigner)，找出150厘米晶圆的平 边或200 厘米晶圆的缺口，并求得 基板的几何 …

...按下Start 钮 Wafer 会经由传送至寻边/预对位载台(Prealigner)后，再传送至对位平台 (Alignment Chuck)。