perfluorocompound

网络释义

1.	等全氟化物目前类似CF4、C2F6与NF3等全氟化物 (Perfluorocompound) 被广泛使用在半导体制程中,例如乾蚀刻(Dry etch)、化学气相沈积(… ssttpro.acesuppliers.com

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