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plasma-enhanced CVD

释义

plasma-enhanced CVD

网络电浆增强化学气相沈积法；等离子体增强化学气相淀积；电浆增强式化学气相沉积

网络释义

1.	电浆增强化学气相沈积法在电浆增强化学气相沈积法（ plasma-enhanced CVD）中，反应气体在电磁场中获得能量，各种化学反应在电浆体中迅速地 … www.tw100s.com
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电浆增强化学气相沈积法,等离子体增强化学气相淀积,电浆增强式化学气相沉积

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更新时间：2025/8/3 17:39:27