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polycide

释义

polycide

网络多晶硅化金属；多晶硅金属；多晶硅复合栅

网络释义

1.	多晶硅化金属 ...蚀90 633氮化硅的干法刻蚀92 634多晶硅化金属(Polycide)的刻蚀 92 635铝及铝合金的刻蚀93 636钨的回蚀94 637干法刻蚀... www.golden-book.com
2.	多晶硅金属一般的对策是采用多晶硅金属(polycide)或自我校准硅金属化(salicide)方式来降低寄生电阻，相关的制程技术发展与所面临的挑 … jhyhust.blog.163.com
3.	多晶硅复合栅 ...素.在微米和亚微米ULSI电路中,通常采用硅化物/多晶硅复合栅(Polycide)和硅化物自对准(Salicide) www.cnki.com.cn

4.	金属矽化物多晶矽用在MOS结构中，作为金属矽化物(Polycide)与氧化层(Oxide)的连接。图片来源: 简祯富(2005)，国立清华大学出版社… www.docin.com
5.	复晶矽金属矽化物耐火金属的矽化物大多可用以氟为主的电浆气体蚀刻，但对复晶矽金属矽化物(Polycide)而言并不合适。因为采用高浓度的氟原 … kimberye.bokee.com
6.	多晶金属矽化 ...应用上的考量。一般须以多晶金属矽化(polycide)、自我对准金属矽化(salicide)、或於其上堆叠一金属层(stacked metal)等方 … www.ndl.org.tw
7.	多晶矽金属一般的对策是采用多晶矽金属(polycide)或自我校准矽金属化(salicide)方式来降低寄生电阻，相关的制程技术发展与所面临的挑 … www.ndl.narl.org.tw

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多晶硅化金属,多晶硅金属,多晶硅复合栅

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更新时间：2025/8/3 10:28:11